高功率KrF准分子激光束平滑的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 向益淮; 王乃彦; 龚堃; 张静娟; 高士平; 戴辉; 高智星; 单玉生 |
| 刊名 | 中国原子能科学研究院年报
 |
| 出版日期 | 2001 |
| 期号 | 1页码:3，69-70 |
| 关键词 | 高功率 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-25 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/656]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 向益淮,王乃彦,龚堃,等. 高功率KrF准分子激光束平滑的研究[J]. 中国原子能科学研究院年报,2001(1):3，69-70. |
| APA | 向益淮.,王乃彦.,龚堃.,张静娟.,高士平.,...&单玉生.(2001).高功率KrF准分子激光束平滑的研究.中国原子能科学研究院年报(1),3，69-70. |
| MLA | 向益淮,et al."高功率KrF准分子激光束平滑的研究".中国原子能科学研究院年报 .1(2001):3，69-70. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。