基于双材料悬臂梁结构的非制冷红外成像系统
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王玮冰 ; 叶甜春; 陈大鹏; 伍小平; 张青川; 潘亮; 段志辉
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| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 40期号:7页码:4，404-406,418 |
| 关键词 | 双材料悬臂梁 非制冷红外成像系统 Mems 焦平面阵列 光力学效应 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 英文摘要 | 报道了一种利用MEMs技术制备，基于双材料悬臂梁结构的非制冷红外焦平面阵列(FPA)并配有可见光读出部分的红外成像系统，可以在8～14μm光谱区得到成像。基于该结构的非制冷红外成像系统利用的是光力学效应原理。我们采用MEMS表面硅工艺制备FPA，深入研究了双材料悬臂梁结构成像系统的基本原理，工艺制备难点和响应结果。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-25 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/878]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王玮冰,叶甜春,陈大鹏,等. 基于双材料悬臂梁结构的非制冷红外成像系统[J]. 微纳电子技术,2003,40(7):4，404-406,418. |
| APA | 王玮冰.,叶甜春.,陈大鹏.,伍小平.,张青川.,...&段志辉.(2003).基于双材料悬臂梁结构的非制冷红外成像系统.微纳电子技术,40(7),4，404-406,418. |
| MLA | 王玮冰,et al."基于双材料悬臂梁结构的非制冷红外成像系统".微纳电子技术 40.7(2003):4，404-406,418. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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