阵列波导光栅薄膜的制备及性能
文献类型：期刊论文
| 作者 | 夏洋; 南铮; 于广华 |
| 刊名 | 北京科技大学学报
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 25期号:5页码:4，445-448 |
| 关键词 | 阵列波导光栅 薄膜 制备 有机硅化合物 溶胶-凝胶法 光波导 |
| ISSN号 | 1001-053X |
| 英文摘要 | 以一种特定成分的有机硅为原料，采用溶胶-凝胶法，在硅基片上制备出用于光波导器件的薄膜．通过折射率和厚度测试及XPS成分测试验证了此薄膜具有较好的均匀性、厚度和光学特性，满足光波导器件的要求．分析了溶胶-凝胶法中常见的龟裂现象的原因以及采预防方法．利用这种薄膜结合微电子加工工艺制备出光波导器件阵列波导光栅． |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-25 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/890]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 夏洋,南铮,于广华. 阵列波导光栅薄膜的制备及性能[J]. 北京科技大学学报,2003,25(5):4，445-448. |
| APA | 夏洋,南铮,&于广华.(2003).阵列波导光栅薄膜的制备及性能.北京科技大学学报,25(5),4，445-448. |
| MLA | 夏洋,et al."阵列波导光栅薄膜的制备及性能".北京科技大学学报 25.5(2003):4，445-448. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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