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超硬氮化碳薄膜材料及其研究进展

文献类型:期刊论文

作者程国安; 刘长虹; 童燕青; 刘洪刚
刊名国外金属加工
出版日期2003
卷号24期号:2页码:7,12-17,42
关键词超硬材料 氮化碳薄膜 研究进展 弹性模量 金刚石
公开日期2010-05-25
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/906]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
推荐引用方式
GB/T 7714
程国安,刘长虹,童燕青,等. 超硬氮化碳薄膜材料及其研究进展[J]. 国外金属加工,2003,24(2):7,12-17,42.
APA 程国安,刘长虹,童燕青,&刘洪刚.(2003).超硬氮化碳薄膜材料及其研究进展.国外金属加工,24(2),7,12-17,42.
MLA 程国安,et al."超硬氮化碳薄膜材料及其研究进展".国外金属加工 24.2(2003):7,12-17,42.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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