超硬氮化碳薄膜材料及其研究进展
文献类型:期刊论文
作者 | 程国安; 刘长虹; 童燕青; 刘洪刚 |
刊名 | 国外金属加工
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出版日期 | 2003 |
卷号 | 24期号:2页码:7,12-17,42 |
关键词 | 超硬材料 氮化碳薄膜 研究进展 弹性模量 金刚石 |
公开日期 | 2010-05-25 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/906] ![]() |
专题 | 微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 程国安,刘长虹,童燕青,等. 超硬氮化碳薄膜材料及其研究进展[J]. 国外金属加工,2003,24(2):7,12-17,42. |
APA | 程国安,刘长虹,童燕青,&刘洪刚.(2003).超硬氮化碳薄膜材料及其研究进展.国外金属加工,24(2),7,12-17,42. |
MLA | 程国安,et al."超硬氮化碳薄膜材料及其研究进展".国外金属加工 24.2(2003):7,12-17,42. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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