常压射频冷等离子体清洗技术介绍
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王守国 |
| 刊名 | 清洗世界
 |
| 出版日期 | 2004 |
| 卷号 | 20期号:12页码:32-34 |
| 关键词 | 常压 冷等离子体喷枪 清洗机理 应用 |
| ISSN号 | 1671-8909 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 介绍一项新兴的绿色常压射频冷等离子体喷枪干化学清洗技术，阐述了它在国内外的发展现状、清洗机理和应用前景。 |
| 公开日期 | 2010-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/912]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王守国. 常压射频冷等离子体清洗技术介绍[J]. 清洗世界,2004,20(12):32-34. |
| APA | 王守国.(2004).常压射频冷等离子体清洗技术介绍.清洗世界,20(12),32-34. |
| MLA | 王守国."常压射频冷等离子体清洗技术介绍".清洗世界 20.12(2004):32-34. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。