提出了用于提高X射线光刻对准系统自动对准效率和对准精度的图像边缘增强技术，并进行了数值分析。采用先单个再整体的分析方法，通过三种不同的图像边缘增强技术，即索贝尔(SOBEL)算子、拉普拉斯(LAPLAC)算子以及卷积等方法对CCD系统采集的对准标记图像进行处理，得到了每个方法相对应的处理结果，并对于处理结果进行了比较分析。分析比较得出：采用卷积和LAPLAC算子相结合的方法，即先卷积，再利用7个算子的LAPLAC方法进行处理，可以将对准系统的自动对准效率提高约50％，使得自动对准时间由原来的20min缩短到10min左右；系统对准精度的方差可由0．10μm提高至0．08μm。