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深亚微米设计中天线效应的消除

文献类型:期刊论文

作者叶青; 黄令仪; 杨旭; 周玉梅
刊名半导体学报
出版日期2004
卷号25期号:7页码:879-883
关键词Pae效应 等离子 栅氧化层 可靠性 Eeacc 1265a 2570a
ISSN号0253-4177
产权排序1
英文摘要

分析了PAE效应(process antenna effect)的成因,并在此基础上提出了几种在深亚微米ASIC设计中消除PAE效应的方法.其方法应用于“龙芯-ICPU”的后端设计,保证了投片的一次成功.

语种中文
公开日期2010-05-26
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/1000]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
叶青,黄令仪,杨旭,等. 深亚微米设计中天线效应的消除[J]. 半导体学报,2004,25(7):879-883.
APA 叶青,黄令仪,杨旭,&周玉梅.(2004).深亚微米设计中天线效应的消除.半导体学报,25(7),879-883.
MLA 叶青,et al."深亚微米设计中天线效应的消除".半导体学报 25.7(2004):879-883.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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