应用光力学效应的非制冷红外焦平面阵列(Focal Plane Array—FPA)，配有可见光读出部分的红外成像系统，可以在8至14μm光谱区得到热物体成像。其核心部件是双材料悬臂梁结构的焦平面阵列。不同于利用其他效应的非制冷红外成像系统，此种成像系统可以方便的在室温下正常工作，而且省去了相当复杂的信号转换电路，降低了制备复杂程度和成本。采用MEMS表面硅工艺制备FPA，深入研究了双材料悬臂梁结构成像系统的基本原理、光学读出系统、工艺制备难点，并得到了高温物体红外源的成像响应结果。