基于薄膜结构的MEMS技术研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 欧毅 ; 陈大鹏; 王玮冰; 刘辉; 谢常青; 杨清华; 董立军; 叶甜春
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| 刊名 | 电子工业专用设备
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| 出版日期 | 2004 |
| 卷号 | 33期号:1页码:16-20 |
| 关键词 | 氮化硅 悬臂梁微结构 微电子机械系统 有限元模拟 红外焦平面成像 |
| ISSN号 | 1004-4507 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 报导了基于低应力自支撑SiNx薄膜结构的MEMS部分研究结果，包括从薄膜生长工艺、内应力和薄膜微观结构控制、薄膜的物性分析、镂空自支撑薄膜结构的工艺制作、自支撑薄膜结构动力学的有限元模拟、到最后镂空自支撑薄膜结构在MEMS系统中的应用所做的部分研究工作。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1026]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 欧毅,陈大鹏,王玮冰,等. 基于薄膜结构的MEMS技术研究[J]. 电子工业专用设备,2004,33(1):16-20. |
| APA | 欧毅.,陈大鹏.,王玮冰.,刘辉.,谢常青.,...&叶甜春.(2004).基于薄膜结构的MEMS技术研究.电子工业专用设备,33(1),16-20. |
| MLA | 欧毅,et al."基于薄膜结构的MEMS技术研究".电子工业专用设备 33.1(2004):16-20. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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