LCoS技术是硅基CMOS半导体集成电路技术和液晶显示技术相结合的新技术。铝膜作为LCoS的反射电极，要求有较高的反射率和电导率。采用电子束蒸发的方法，以高纯度的Al为靶材，硅片为衬底，制备了不同厚度的Al反射膜，并测量了在可见光范围内反射率曲线，分析了薄膜的致密性和电导率。实验结果表明，当Al层很薄时，膜的连续性较差，呈岛状或网状结构，膜的导电性不好；如果沉积较厚（1μm以上）则容易形成“铝丘”，即出现多晶态的Al分布，一方面使Al膜表面粗糙，降低其镜面反射率，同样也将严重影响Al膜的电学性能。选定50nm厚度Al膜作为LCoS的反射层为最佳。