双材料微梁阵列非制冷红外成像系统——微梁阵列的设计与制作
文献类型：期刊论文
| 作者 | 潘亮; 郭哲颖; 陈大鹏 ; 王玮冰; 段志辉; 张青川; 董凤良; 伍小平
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| 刊名 | 红外与毫米波学报
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 24期号:6页码:5，409-413 |
| 关键词 | 非制冷红外成像 光学读出 双材料微悬臂梁阵列 |
| ISSN号 | 1001-9014 |
| 英文摘要 | 给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件——双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的SiNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-bit CCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差（NETD）为7K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1110]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 潘亮,郭哲颖,陈大鹏,等. 双材料微梁阵列非制冷红外成像系统——微梁阵列的设计与制作[J]. 红外与毫米波学报,2005,24(6):5，409-413. |
| APA | 潘亮.,郭哲颖.,陈大鹏.,王玮冰.,段志辉.,...&伍小平.(2005).双材料微梁阵列非制冷红外成像系统——微梁阵列的设计与制作.红外与毫米波学报,24(6),5，409-413. |
| MLA | 潘亮,et al."双材料微梁阵列非制冷红外成像系统——微梁阵列的设计与制作".红外与毫米波学报 24.6(2005):5，409-413. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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