热压印光刻技术复制波带片图形研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王德强; 谢常青 ; 陈大鹏; 康晓辉; 范东升
|
| 刊名 | 微细加工技术
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 3页码:4，27-30 |
| 关键词 | 波带片 纳米压印 热压印 |
| ISSN号 | 1003-8213 |
| 英文摘要 | 针对只需单次曝光的菲涅尔波带片器件,给出了结合电子束光刻和热压印光刻进行大规模复制的完整工艺路线,即首先采用电子束光刻制作热压印模版,之后用热压印光刻进行波带片的大规模复制,所制得的波带片图形的最外环宽度为250 nm,直径为196μm,环数为196环.初步实验结果表明,这种方法具有很好的重复性和易用性,且可以进行低成本波带片的精确复制. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1120]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王德强,谢常青,陈大鹏,等. 热压印光刻技术复制波带片图形研究[J]. 微细加工技术,2005(3):4，27-30. |
| APA | 王德强,谢常青,陈大鹏,康晓辉,&范东升.(2005).热压印光刻技术复制波带片图形研究.微细加工技术(3),4，27-30. |
| MLA | 王德强,et al."热压印光刻技术复制波带片图形研究".微细加工技术 .3(2005):4，27-30. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。