纳米加工和纳米电子器件
文献类型：期刊论文
| 作者 | 谢常青 ; 王丛舜; 龙世兵; 李志刚; 涂德钰; 易里成荣; 刘明
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| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 42期号:9页码:5，393-397 |
| 关键词 | 自上而下的纳米加工 纳米器件 单电子器件 共振隧穿器件 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 英文摘要 | 介绍了电子束曝光技术、EUV光刻技术和X射线光刻技术的进展；对各种纳米电子器件如单电子器件、共振隧穿器件和分子电子器件的研究现状及面临的主要挑战进行了讨论。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1158]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢常青,王丛舜,龙世兵,等. 纳米加工和纳米电子器件[J]. 微纳电子技术,2005,42(9):5，393-397. |
| APA | 谢常青.,王丛舜.,龙世兵.,李志刚.,涂德钰.,...&刘明.(2005).纳米加工和纳米电子器件.微纳电子技术,42(9),5，393-397. |
| MLA | 谢常青,et al."纳米加工和纳米电子器件".微纳电子技术 42.9(2005):5，393-397. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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