悬臂梁微尖端器件的制备与应用研究进展
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈大鹏 ; 焦斌斌; 叶甜春; 欧毅; 董立军; 杨清华
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| 刊名 | 电子工业专用设备
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 34期号:1页码:5，15-19 |
| 关键词 | 扫描隧道显微镜 |
| ISSN号 | 1004-4507 |
| 英文摘要 | 随着扫描隧道显微镜(SPM)家族的成熟，悬臂粱微尖端MEMS器件的广泛应用前景也逐渐清晰。对悬臂梁微尖端MEMS器件的种类、微尖端制作方法以及现今的研究应用方向进行了论述，最后指出了悬臂梁微尖端MEMS器件向着大规模阵列化发展的方向。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1250]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈大鹏,焦斌斌,叶甜春,等. 悬臂梁微尖端器件的制备与应用研究进展[J]. 电子工业专用设备,2005,34(1):5，15-19. |
| APA | 陈大鹏,焦斌斌,叶甜春,欧毅,董立军,&杨清华.(2005).悬臂梁微尖端器件的制备与应用研究进展.电子工业专用设备,34(1),5，15-19. |
| MLA | 陈大鹏,et al."悬臂梁微尖端器件的制备与应用研究进展".电子工业专用设备 34.1(2005):5，15-19. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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