纳米电子器件及其集成
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈宝钦 ; 刘明; 谢常青; 王丛舜; 龙世兵; 徐秋霞; 李志刚; 易里成荣; 涂德钰; 商立伟
|
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 27期号:增刊页码:7-10 |
| 关键词 | 自上而下的纳米加工 纳米器件 单电子器件 共振器件 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 对基于Top-Down加工技术的纳米电子器件如:单电子器件、共振器件、分子电子器件等的研究现状、面临的主要挑战等进行了讨论.采用CMOS兼容的工艺成功地研制出单电子器件,观察到明显的库仑阻塞效应;在半绝缘GaAs衬底上制作了AlAs/GaAs/In0.1 Ga0.9As/GaAs/AlAs双势垒共振隧穿二极管,采用环型集电极和薄势垒结构研制的共振隧穿器件,在室温下测得其峰谷电流比高达13.98,峰电流密度大于89kA/cm2;概述了交叉阵列的分子存储器的研究进展. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1290]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈宝钦,刘明,谢常青,等. 纳米电子器件及其集成[J]. 半导体学报,2006,27(增刊):7-10. |
| APA | 陈宝钦.,刘明.,谢常青.,王丛舜.,龙世兵.,...&商立伟.(2006).纳米电子器件及其集成.半导体学报,27(增刊),7-10. |
| MLA | 陈宝钦,et al."纳米电子器件及其集成".半导体学报 27.增刊(2006):7-10. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。