一、前言 集成电路（IC）装备业已成为高技术装备产业的典型代表。中罔正在成为世界IC制造业的重要区域，同时也将成为IC装备商争胜的焦点。相对于IC制造业，我同的IC装备制造业无论从生产规模、研发水平、投资强度以及人才聚集等方面都还存在着很大的差距，尚未形成可以支撑自身可持续发展的产业规模。面对强劲的市场和产业发展需求，建立健康的IC装备制造业，开发关键IC制造装备和具有自主知识产权的先进工艺，形成具有自主发展能力和核心竞争力的产业链，实现可持续健康发展，已成为我国IC产业亟待解决的一项具有全局性和战略性意义的核心问题。在近期颁布的国家中长期科技发展规划中，IC制造装备与成套工艺已经列为重大专项，充分显示了中国政府对这一战略意义的认识和决心。