中国集成电路装备制造业自主创新战略的几点思考
文献类型：期刊论文
| 作者 | 叶甜春
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| 刊名 | 中国制造业信息化（应用版）
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| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 4页码:53-55 |
| 关键词 | 装备制造业 集成电路 自主创新 中国 基础理论 自动控制 真空技术 精密机械 光学加工 研究和应用 |
| ISSN号 | 1672-1616 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 集成电路装备集成了基础理论，基础材料、器件物理、计算机、自动控制、光学、化学、真空技术、精密机械、装备制造、统计分析、计量学、环境超洁净控制科技领域的最新成就，是基础研究和应用研究共同发展的产物，许多技术已经在挑战机械、光学加工等方面的物理极限，集成电路装备业已成为高技术装备产业的典型代表。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1382]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 叶甜春. 中国集成电路装备制造业自主创新战略的几点思考[J]. 中国制造业信息化（应用版）,2006(4):53-55. |
| APA | 叶甜春.(2006).中国集成电路装备制造业自主创新战略的几点思考.中国制造业信息化（应用版）(4),53-55. |
| MLA | 叶甜春."中国集成电路装备制造业自主创新战略的几点思考".中国制造业信息化（应用版） .4(2006):53-55. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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