MEMS中的簿膜制造技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 董立军 ; 陈大鹏; 欧毅; 黄钦文; 石莎莉; 焦斌斌; 李超波; 杨清华; 叶甜春
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| 刊名 | 电子工业专用设备
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 35期号:1页码:39-42 |
| 关键词 | 微机电系统 薄膜淀积 Pvd Cvd 电镀 物理淀积 |
| ISSN号 | 1004-4507 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 追述了薄膜淀积技术的历史，按照制备手段对MEMS制造中使用的各种薄膜制造技术进行了大致的分类和对比，介绍了相应的理论研究概况，除了电镀技术之外，MEMS技术基本来自传统的IC制造工艺。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1454]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 董立军,陈大鹏,欧毅,等. MEMS中的簿膜制造技术[J]. 电子工业专用设备,2006,35(1):39-42. |
| APA | 董立军.,陈大鹏.,欧毅.,黄钦文.,石莎莉.,...&叶甜春.(2006).MEMS中的簿膜制造技术.电子工业专用设备,35(1),39-42. |
| MLA | 董立军,et al."MEMS中的簿膜制造技术".电子工业专用设备 35.1(2006):39-42. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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