基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李超波 ; 焦斌斌; 石莎莉; 叶甜春; 陈大鹏; 张青川; 郭哲颖; 董凤良; 伍小平
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| 刊名 | 半导体学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 27期号:1页码:150-155 |
| 关键词 | 微机械 焦平面阵列 光力学 低压化学气相淀积 氮化硅 噪声等效温度差 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 选用Au和LPCVD的低应力SiNx薄膜材料，采用MEMS技术研制了新型间隔镀金热隔离结构的薄膜镂空式非制冷红外成像焦平面阵列，并应用光学读出的方法成功地在室温（27，47℃）背景下获得了人体的热像．实验证明间隔镀金热隔离结构的引入有效抑制了热传导对变形梁温升的限制，从而大大降低了系统的噪声等效温度差（NETD），NETD达到约200mK． |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1464]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李超波,焦斌斌,石莎莉,等. 基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列[J]. 半导体学报,2006,27(1):150-155. |
| APA | 李超波.,焦斌斌.,石莎莉.,叶甜春.,陈大鹏.,...&伍小平.(2006).基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列.半导体学报,27(1),150-155. |
| MLA | 李超波,et al."基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列".半导体学报 27.1(2006):150-155. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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