微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘明 ; 陈宝钦; 谢常青; 王丛舜; 龙世兵; 徐秋霞; 李志刚; 易里成荣; 涂德钰
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| 刊名 | 物理
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| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 35期号:1页码:47-50 |
| 关键词 | 纳米加工 纳米器件 微纳加工技术 光学光刻技术 |
| ISSN号 | 0379-4148 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 微纳加工技术推动着集成电路不断缩小器件尺寸和提高集成度，光学光刻技术依然是目前的主流微纳加工技术，同时有多种替代技术如电子束直写、极紫外光刻和投影电子束技术，文章介绍了自上而下的微纳加工技术的进展及其在微纳器件研制的重要作用。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1466]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘明,陈宝钦,谢常青,等. 微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用[J]. 物理,2006,35(1):47-50. |
| APA | 刘明.,陈宝钦.,谢常青.,王丛舜.,龙世兵.,...&涂德钰.(2006).微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用.物理,35(1),47-50. |
| MLA | 刘明,et al."微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用".物理 35.1(2006):47-50. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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