氧气吸附对碳纳米管电子特性的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吴军; 黄钦文; 叶甜春 ; 陈永胜; 陈大鹏
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| 刊名 | 电子器件
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| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 6 |
| 关键词 | 碳纳米管 吸附 氧化 气体传感器 化学气相淀积 |
| ISSN号 | 1005-9490 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 碳纳米管暴露在空气中会引起其电子特性的改变.使用微电子工艺在硅衬底上制备出生长碳纳米管的阵列图形,使用热CVD法实现碳纳米管在硅平面上的定点生长.研究了不同温度下空气氛围对多壁碳纳米管电子特性的影响.实验结果表明,空气中的水分子和氧气都会影响碳纳米管的电子特性.在室温环境中,水分子对碳纳米管电子特性的影响起主要作用,随着环境温度的升高,氧气对碳纳米管电学性质的变化起主要作用. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1494]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴军,黄钦文,叶甜春,等. 氧气吸附对碳纳米管电子特性的影响[J]. 电子器件,2007(6). |
| APA | 吴军,黄钦文,叶甜春,陈永胜,&陈大鹏.(2007).氧气吸附对碳纳米管电子特性的影响.电子器件(6). |
| MLA | 吴军,et al."氧气吸附对碳纳米管电子特性的影响".电子器件 .6(2007). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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