基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状
文献类型：期刊论文
| 作者 | 罗小光; 李趋波; 由春娟 ; 张青川; 伍小平; 焦斌斌; 陈大鹏; 欧毅; 史海涛
|
| 刊名 | 电子工业专用设备
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 1期号:总第144页码:4,6_9 |
| 关键词 | 非制冷红外成像 Mems 双材料微悬臂梁阵列 光学读出 |
| ISSN号 | 1004_4507 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 非制冷红外成像技术由于其成本低可考性好而倍受关注。一种基于ME MS双材料粱阵列的新概念光学读出红外成像 系统也于今年来被提出来介绍了这种系统成像原理，影响参数及其研 究现状。最后展望了其发展前景. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1528]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗小光,李趋波,由春娟,等. 基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状[J]. 电子工业专用设备,2007,1(总第144):4,6_9. |
| APA | 罗小光.,李趋波.,由春娟.,张青川.,伍小平.,...&史海涛.(2007).基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状.电子工业专用设备,1(总第144),4,6_9. |
| MLA | 罗小光,et al."基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状".电子工业专用设备 1.总第144(2007):4,6_9. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。