基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件应用新进展
文献类型：期刊论文
| 作者 | 焦斌斌 ; 景玉鹏; 董立军; 叶甜春; 欧毅; 傅剑宇; 陈大鹏
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| 刊名 | 电子工业专用设备
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 1期号:总第144页码:4,10_14 |
| 关键词 | 原子力显微镜 悬臂梁 微尖端 |
| ISSN号 | 1004_4507 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 在分析原子力显微镜工作原理的基础上,详细介绍了各种基 于原子力显微镜 的悬臂梁微 尖端器件的应用进展,并展望 了悬臂梁微尖端器件的发展前景. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1530]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 焦斌斌,景玉鹏,董立军,等. 基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件应用新进展[J]. 电子工业专用设备,2007,1(总第144):4,10_14. |
| APA | 焦斌斌.,景玉鹏.,董立军.,叶甜春.,欧毅.,...&陈大鹏.(2007).基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件应用新进展.电子工业专用设备,1(总第144),4,10_14. |
| MLA | 焦斌斌,et al."基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件应用新进展".电子工业专用设备 1.总第144(2007):4,10_14. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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