基于单晶硅梁的静电RFMEMS开关
文献类型：期刊论文
| 作者 | 舞玉鹏; 叶甜春 ; 陈大鹏; 欧毅; 李超波; 黄钦文; 焦斌斌; 李全宝; 刘茂哲
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| 刊名 | 电子工业专用设备
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 1期号:总第144页码:4,15_18 |
| 关键词 | 射频微机械开关 单晶硅梁 静电驱动 |
| ISSN号 | 1004_4507 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | RFMEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的关键部件，静电驱动 RFMEMS开关因具有零直流功耗、开关时间短 、结构简单、易集成的优点而成为研究热点，但是驱动电压 高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展，提出了一种基于单晶硅梁的推拉式静电RFMEMS开关结构。能够解决静电RFMEMS现有的缺陷。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1532]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 舞玉鹏,叶甜春,陈大鹏,等. 基于单晶硅梁的静电RFMEMS开关[J]. 电子工业专用设备,2007,1(总第144):4,15_18. |
| APA | 舞玉鹏.,叶甜春.,陈大鹏.,欧毅.,李超波.,...&刘茂哲.(2007).基于单晶硅梁的静电RFMEMS开关.电子工业专用设备,1(总第144),4,15_18. |
| MLA | 舞玉鹏,et al."基于单晶硅梁的静电RFMEMS开关".电子工业专用设备 1.总第144(2007):4,15_18. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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