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功率增益截止频率为183GHz的In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As HEMTs

文献类型:期刊论文

作者张健; 刘训春; 牛洁斌; 刘亮; 张海英; 尹军舰; 李潇; 杨浩; 徐静波; 宋雨竹
刊名半导体学报
出版日期2007
卷号28期号:2页码:4,1860_1863
关键词最大振荡频率/功率增益截止频率
ISSN号0253-4177
产权排序1
英文摘要通过合理的外延层材料结构设计和改进的器件制备工艺,制备出功率增益截止频率(fmax)为183GHz的晶格匹配InP基In0.53Ga0.47As-In0.52Al0.48As HEMT。该fmax为国内HEMT器件最高值,还报道了器件的结构、制备工艺以及器件的直流和高频特性
语种中文
公开日期2010-05-26
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/1606]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
推荐引用方式
GB/T 7714
张健,刘训春,牛洁斌,等. 功率增益截止频率为183GHz的In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As HEMTs[J]. 半导体学报,2007,28(2):4,1860_1863.
APA 张健.,刘训春.,牛洁斌.,刘亮.,张海英.,...&宋雨竹.(2007).功率增益截止频率为183GHz的In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As HEMTs.半导体学报,28(2),4,1860_1863.
MLA 张健,et al."功率增益截止频率为183GHz的In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As HEMTs".半导体学报 28.2(2007):4,1860_1863.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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