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截止频率为218GHz的超高速晶格匹配In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As高电子迁移率晶体管

文献类型:期刊论文

作者徐静波; 刘亮; 张海英; 尹军舰; 刘训春; 李潇; 牛洁斌; 宋雨竹
刊名半导体学报
出版日期2007
卷号28期号:12页码:4,1864_1867
关键词截止频率 高电子迁移率晶体管 Ingaas/inalas Inp
ISSN号0253-4177
产权排序1
英文摘要报道了截止频率为218GHz的晶格匹配的In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As高电子迁移率晶体管,这是迄今为止国内报道的截止频率最高的高电子迁移率晶体管,器件直流特性也很优异:跨导为980mS/mm,最大电流密度为870mA/mm,文中的材料结构和所有器件制备工艺均为本研究小组自主研制开发。
语种中文
公开日期2010-05-26
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/1608]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
推荐引用方式
GB/T 7714
徐静波,刘亮,张海英,等. 截止频率为218GHz的超高速晶格匹配In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As高电子迁移率晶体管[J]. 半导体学报,2007,28(12):4,1864_1867.
APA 徐静波.,刘亮.,张海英.,尹军舰.,刘训春.,...&宋雨竹.(2007).截止频率为218GHz的超高速晶格匹配In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As高电子迁移率晶体管.半导体学报,28(12),4,1864_1867.
MLA 徐静波,et al."截止频率为218GHz的超高速晶格匹配In0.53Ga0.47As/In0.52Al0.48As高电子迁移率晶体管".半导体学报 28.12(2007):4,1864_1867.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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