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CIF到PG3600格式转换的算法研究

文献类型:期刊论文

作者汤跃科; 赵珉; 陈宝钦; 李金儒
刊名微电子学
出版日期2007
卷号37期号:2页码:3,207_209
关键词Cif格式 Pg3600格式 图形切割 数据格式转换
ISSN号1004-3365
英文摘要提出了微光刻图形CIF数据格式到PG3600数据格式转换软件新的图形切割算法,该算法将L-EDIT输出的CIF格式中的四种图形当作任意多边形处理,然后把多边形切割成矩形。与其他算法相比较,该算法简单、切割理想、切割后的矩形数据量比其他算法少很多。并以此算法为基础,编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT上的数据格式转换软件。
语种中文
公开日期2010-05-26
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/1672]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
推荐引用方式
GB/T 7714
汤跃科,赵珉,陈宝钦,等. CIF到PG3600格式转换的算法研究[J]. 微电子学,2007,37(2):3,207_209.
APA 汤跃科,赵珉,陈宝钦,&李金儒.(2007).CIF到PG3600格式转换的算法研究.微电子学,37(2),3,207_209.
MLA 汤跃科,et al."CIF到PG3600格式转换的算法研究".微电子学 37.2(2007):3,207_209.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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