电磁驱动RFMEMS开关的研究状况
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈大鹏 ; 李全宝; 景玉鹏; 刘茂哲; 欧毅; 马瑾; 叶甜春
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| 刊名 | 电子工业专用设备
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 36期号:1页码:4,18_20,30 |
| 关键词 | Rf Mems技术 Rf Mems开关 电磁驱动 工作电压 驱动力 |
| ISSN号 | 1004-4507 |
| 英文摘要 | RF MEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力，作为其核心器件的RF MEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件。电磁驱动RF MEMS开关具有工作电压比较低．驱动力大，可以工作在恶劣的环境等优点，使其成为近年来RF MEMS开关研究的一个热点。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-26 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1692]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈大鹏,李全宝,景玉鹏,等. 电磁驱动RFMEMS开关的研究状况[J]. 电子工业专用设备,2007,36(1):4,18_20,30. |
| APA | 陈大鹏.,李全宝.,景玉鹏.,刘茂哲.,欧毅.,...&叶甜春.(2007).电磁驱动RFMEMS开关的研究状况.电子工业专用设备,36(1),4,18_20,30. |
| MLA | 陈大鹏,et al."电磁驱动RFMEMS开关的研究状况".电子工业专用设备 36.1(2007):4,18_20,30. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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