声表面波气体传感器的研究进展
文献类型:期刊论文
作者 | 杨楷; 李志刚![]() ![]() ![]() |
刊名 | 电子元件与材料
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出版日期 | 2008 |
卷号 | 27期号:9页码:5,26-30 |
关键词 | 电子技术 声表面波气体传感器 综述 响应时间 灵敏度 无源无线传感技术 |
ISSN号 | 1001-2028 |
英文摘要 | 介绍了声表面波气体传感器的基本结构和研究进展,指出了其存在的主要问题及解决方法:如温度控制电路可解决温度的影响;仿钻结晶碳覆盖层可解决湿度影响;人工神经网络技术可解决响应时间;监视声表面波的频率和振幅在高次谐波下的变化,可解决在低浓度工作时的灵敏度等问题。展望了声表面波气体传感器的发展趋势,认为该传感器的研究价值很高,市场前景广阔。 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2010-05-27 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1768] ![]() |
专题 | 微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年) |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨楷,李志刚,景玉鹏,等. 声表面波气体传感器的研究进展[J]. 电子元件与材料,2008,27(9):5,26-30. |
APA | 杨楷,李志刚,景玉鹏,&陈大鹏.(2008).声表面波气体传感器的研究进展.电子元件与材料,27(9),5,26-30. |
MLA | 杨楷,et al."声表面波气体传感器的研究进展".电子元件与材料 27.9(2008):5,26-30. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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