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声表面波气体传感器的研究进展

文献类型:期刊论文

作者杨楷; 李志刚; 景玉鹏; 陈大鹏
刊名电子元件与材料
出版日期2008
卷号27期号:9页码:5,26-30
关键词电子技术 声表面波气体传感器 综述 响应时间 灵敏度 无源无线传感技术
ISSN号1001-2028
英文摘要

介绍了声表面波气体传感器的基本结构和研究进展,指出了其存在的主要问题及解决方法:如温度控制电路可解决温度的影响;仿钻结晶碳覆盖层可解决湿度影响;人工神经网络技术可解决响应时间;监视声表面波的频率和振幅在高次谐波下的变化,可解决在低浓度工作时的灵敏度等问题。展望了声表面波气体传感器的发展趋势,认为该传感器的研究价值很高,市场前景广阔。

语种中文
公开日期2010-05-27
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/1768]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
杨楷,李志刚,景玉鹏,等. 声表面波气体传感器的研究进展[J]. 电子元件与材料,2008,27(9):5,26-30.
APA 杨楷,李志刚,景玉鹏,&陈大鹏.(2008).声表面波气体传感器的研究进展.电子元件与材料,27(9),5,26-30.
MLA 杨楷,et al."声表面波气体传感器的研究进展".电子元件与材料 27.9(2008):5,26-30.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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