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T形栅In0.52Al0.48As/In0.6Ga0.4As MHEMTs功率器件

文献类型:期刊论文

作者黎明; 张海英; 徐静波; 付晓君
刊名半导体学报
出版日期2008
卷号29期号:12页码:4,2331-2334
关键词Mhemt Inalas/ingaas 功率特性 T型栅 功率器件
ISSN号0253-4177
英文摘要利用电子束光刻技术制备了200nm栅长GaAs基T型栅InAlAs/InGaAsMHEMT器件.该GaAs基MHEMT器件具有优越的直流、高频和功率性能,跨导、饱和漏电流密度、阈值电压、电流增益截止频率和最大振荡频率分别达到510mS/mm,605mA/mm,-1.8V,138GHz和78GHz.在8GHz下,输入功率为-0.88(2.11)dBm时,输出功率、增益、PAE、输出功率密度分别为14.05(13.79)dBm,14.9(11.68)dB,67.74(75.1)%,254(239)mW/mm,为进一步研究高性能GaAs基MHEMT功率器件奠定了基础。
语种中文
公开日期2010-05-27
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/1780]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
推荐引用方式
GB/T 7714
黎明,张海英,徐静波,等. T形栅In0.52Al0.48As/In0.6Ga0.4As MHEMTs功率器件[J]. 半导体学报,2008,29(12):4,2331-2334.
APA 黎明,张海英,徐静波,&付晓君.(2008).T形栅In0.52Al0.48As/In0.6Ga0.4As MHEMTs功率器件.半导体学报,29(12),4,2331-2334.
MLA 黎明,et al."T形栅In0.52Al0.48As/In0.6Ga0.4As MHEMTs功率器件".半导体学报 29.12(2008):4,2331-2334.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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