T形栅In0.52Al0.48As/In0.6Ga0.4As MHEMTs功率器件
文献类型:期刊论文
作者 | 黎明; 张海英; 徐静波; 付晓君 |
刊名 | 半导体学报
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出版日期 | 2008 |
卷号 | 29期号:12页码:4,2331-2334 |
关键词 | Mhemt Inalas/ingaas 功率特性 T型栅 功率器件 |
ISSN号 | 0253-4177 |
英文摘要 | 利用电子束光刻技术制备了200nm栅长GaAs基T型栅InAlAs/InGaAsMHEMT器件.该GaAs基MHEMT器件具有优越的直流、高频和功率性能,跨导、饱和漏电流密度、阈值电压、电流增益截止频率和最大振荡频率分别达到510mS/mm,605mA/mm,-1.8V,138GHz和78GHz.在8GHz下,输入功率为-0.88(2.11)dBm时,输出功率、增益、PAE、输出功率密度分别为14.05(13.79)dBm,14.9(11.68)dB,67.74(75.1)%,254(239)mW/mm,为进一步研究高性能GaAs基MHEMT功率器件奠定了基础。 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2010-05-27 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1780] ![]() |
专题 | 微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 黎明,张海英,徐静波,等. T形栅In0.52Al0.48As/In0.6Ga0.4As MHEMTs功率器件[J]. 半导体学报,2008,29(12):4,2331-2334. |
APA | 黎明,张海英,徐静波,&付晓君.(2008).T形栅In0.52Al0.48As/In0.6Ga0.4As MHEMTs功率器件.半导体学报,29(12),4,2331-2334. |
MLA | 黎明,et al."T形栅In0.52Al0.48As/In0.6Ga0.4As MHEMTs功率器件".半导体学报 29.12(2008):4,2331-2334. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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