标准单元可制造性分级
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张子文; 龚敏; 陈岚 |
| 刊名 | 现代电子技术
 |
| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 31期号:24页码:3，34-36 |
| 关键词 | 可制造性 标准单元 权重 光刻模拟 |
| ISSN号 | 1004-373X |
| 英文摘要 | 随着制造工艺尺寸的缩小，可制造性不只是工厂需要关注的问题，更是设计者需要考虑的重点，从而提高良率和版图面积的利用率。为了使设计者更好地理解和控制可制造性．对标准单元的可制造性分级显得尤为重要。用加权重的方法对标准单元进行可制造性分级，该方法不但包含可制造性规则对版图的约束，还创新性地把工艺参数变化对其造成的影响考虑了进去。用一套简化的可制造性规则和版图来演示此种分级方法的实现，并用模拟结果验证了它的有效性。该分级方法具有统一性和标准性，可以被广泛采用。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-27 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1784]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张子文,龚敏,陈岚. 标准单元可制造性分级[J]. 现代电子技术,2008,31(24):3，34-36. |
| APA | 张子文,龚敏,&陈岚.(2008).标准单元可制造性分级.现代电子技术,31(24),3，34-36. |
| MLA | 张子文,et al."标准单元可制造性分级".现代电子技术 31.24(2008):3，34-36. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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