LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王文博; 王晓慧; 黄苒 ; 欧毅; 杜寰; 夏洋; 韩郑生; 冯亚云; 凌志华
|
| 刊名 | 液晶与显示
 |
| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 23期号:5页码:4，629-632 |
| 关键词 | Lcos 微显示 Cmp 镜面电极 |
| ISSN号 | 1007-2780 |
| 英文摘要 | 介绍了LCoS技术的特点与发展现状，LCoS性能的优劣与硅基片平整度有直接关系，着重进行了LCoS微显示驱动技术表面形貌的研究与改进。通过严格控制工艺步骤，降低台阶高度；合理设计版图布局，使台阶叠加在隔离像素区域的沟槽中，这样既能实现像素电极区域的局部平坦化，又因为沟槽不作为显示区域，对整体显示效果影响较小。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-27 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1818]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王文博,王晓慧,黄苒,等. LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进[J]. 液晶与显示,2008,23(5):4，629-632. |
| APA | 王文博.,王晓慧.,黄苒.,欧毅.,杜寰.,...&凌志华.(2008).LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进.液晶与显示,23(5),4，629-632. |
| MLA | 王文博,et al."LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进".液晶与显示 23.5(2008):4，629-632. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。