光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 高超群; 焦斌斌 ; 刘茂哲; 李全宝; 杨锴; 石莎莉; 李志刚; 欧毅; 景玉鹏; 陈大鹏
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| 刊名 | 半导体学报
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| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 29期号:10页码:7，2043-2049 |
| 关键词 | Mems |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 英文摘要 | 光谱技术是化学分析的终极手段.将光谱技术与MEMS（micro-electro-mechanical systems）和CMOS技术结合是解决当前气敏传感器灵敏度低、选择性差、体积大、功耗高、不便于阵列化和高度集成以至于无梯度立体矢量探测能力等问题的有效手段.本文介绍了一种制作于（110）硅片上的集成光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器,详述了该气敏传感器的工作原理、传感器结构和制造工艺. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-27 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1838]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高超群,焦斌斌,刘茂哲,等. 光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器[J]. 半导体学报,2008,29(10):7，2043-2049. |
| APA | 高超群.,焦斌斌.,刘茂哲.,李全宝.,杨锴.,...&陈大鹏.(2008).光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器.半导体学报,29(10),7，2043-2049. |
| MLA | 高超群,et al."光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器".半导体学报 29.10(2008):7，2043-2049. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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