中医用高精度阵列脉搏传感器的设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 淮永进; 韩郑生
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| 刊名 | 半导体学报
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| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 29期号:4页码:5，701-705 |
| 关键词 | 阵列传感器 压力传感器 Mosfet栅 线性度 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 英文摘要 | 提出了一种可以把脉搏压力信号直接转换为电流信号输出的高精度阵列脉搏传感器.采用牺牲层法加工晶体管的栅极与CMOS工艺具有良好的兼容性.对传感器栅电容和输出电流进行测试,在1.5-9.5kPa的动态范围,传感器电容的灵敏度约为0.5fF/hPa;传感器输出电流与压力呈现较好的线性和指数特性.分析结果表明MOS栅面积的改变对压力-电流响应曲线的线性度有一定影响. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-27 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1916]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 淮永进,韩郑生. 中医用高精度阵列脉搏传感器的设计[J]. 半导体学报,2008,29(4):5，701-705. |
| APA | 淮永进,&韩郑生.(2008).中医用高精度阵列脉搏传感器的设计.半导体学报,29(4),5，701-705. |
| MLA | 淮永进,et al."中医用高精度阵列脉搏传感器的设计".半导体学报 29.4(2008):5，701-705. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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