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SAW化学战剂传感器的研究进展

文献类型:期刊论文

作者赵以贵; 刘明; 牛洁斌
刊名传感器与微系统
出版日期2008
卷号27期号:9页码:3,1-3
关键词声表面波 化学传感器 敏感膜
ISSN号1000-9787
英文摘要

简要叙述了声表面波(SAW)化学战剂传感器的传感原理和研究进展。详细阐述了高Q低插损SAW振荡电路的设计、敏感膜材料和成膜技术的研究进展,指出了SAW化学战剂传感器发展的趋势。

语种中文
公开日期2010-05-27
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/1940]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
赵以贵,刘明,牛洁斌. SAW化学战剂传感器的研究进展[J]. 传感器与微系统,2008,27(9):3,1-3.
APA 赵以贵,刘明,&牛洁斌.(2008).SAW化学战剂传感器的研究进展.传感器与微系统,27(9),3,1-3.
MLA 赵以贵,et al."SAW化学战剂传感器的研究进展".传感器与微系统 27.9(2008):3,1-3.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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