太阳能电池刻蚀机的控制系统研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张育胜 |
| 刊名 | 电子工业专用设备
 |
| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 37期号:8页码:4，20-22,31 |
| 关键词 | 树形构 逻辑控制 系统 组合逻辑 时序逻辑 时序图 |
| ISSN号 | 1004-4507 |
| 英文摘要 | 太阳能电池刻蚀机的自动生产流程是逻辑控制系统，提出采用树形结构对逻辑控制系统进行分析，各子系统用树形结构进行设计，终端子系统采用时序图方法进行设计，综合了组合逻辑和时序逻辑控制。此方法应用于自动太阳能电池刻蚀机，提高了系统的处理速度和可靠性。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-05-27 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/1948]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张育胜. 太阳能电池刻蚀机的控制系统研究[J]. 电子工业专用设备,2008,37(8):4，20-22,31. |
| APA | 张育胜.(2008).太阳能电池刻蚀机的控制系统研究.电子工业专用设备,37(8),4，20-22,31. |
| MLA | 张育胜."太阳能电池刻蚀机的控制系统研究".电子工业专用设备 37.8(2008):4，20-22,31. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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