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一种双线圈推拉式射频微机电系统开关

文献类型:专利

作者李全宝; 景玉鹏; 陈大鹏; 欧毅; 叶甜春
发表日期2008-09-17
专利号CN200720149743.0
著作权人中国科学院微电子研究所
国家中国
文献子类实用新型
英文摘要

本实用新型涉及微机电系统(MEMS)应用中的射频微机电系统(RF MEMS)技术领域,公开了一种双线圈推拉式RF MEMS开关,该射频微 机电系统开关包括扭摆梁开关可动部分、电磁驱动部分和传输线部分,在 电磁驱动部分的平面线圈加电流产生的磁场与电磁驱动部分的永磁体产 生的磁场相叠加,改变整体磁场的方向,驱动扭摆梁开关可动部分动作, 接通或断开扭摆梁开关可动部分与传输线部分,实现触点通断。利用本实 用新型,提高了开关寿命,解决了现有电磁驱动RF MEMS开关存在的 缺陷,降低了功耗,改善了开关的稳定性,降低了加工的复杂度。

申请日期2007-06-20
语种中文
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/7244]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李全宝,景玉鹏,陈大鹏,等. 一种双线圈推拉式射频微机电系统开关. CN200720149743.0. 2008-09-17.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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