适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/镍/金欧姆接触系统
文献类型：专利
| 作者 | 吴德馨 ; 刘健; 魏珂; 和致经; 刘新宇
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| 发表日期 | 2009-04-22 |
| 专利号 | CN200410058035.7 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 英文摘要 | 本发明涉及半导体技术领域，特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器 件的新型欧姆接触Al/Ti/Al/Ni/Au的合金系统。新型结构的欧姆接触 Al/Ti/Al/Ni/Au，具有很大的工艺宽容度，可以在较低680℃-760℃的情况，获 得满意的欧姆接触特性。该技术的合金温度、合金时间有很大的选择范围， 降低了工艺难度，扩大了工艺宽容度，提高了工艺的重复性。获得比较理 想的合金形貌。这些优势是现有其它欧姆接触技术所不具备的。 |
| 公开日期 | 2006-02-15 |
| 申请日期 | 2004-08-09 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/7374]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴德馨,刘健,魏珂,等. 适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/镍/金欧姆接触系统. CN200410058035.7. 2009-04-22. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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