适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/钛/铂/金的欧姆接触系统
文献类型：专利
| 作者 | 刘新宇 ; 刘健; 吴德馨; 魏珂; 和致经
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| 发表日期 | 2009-05-06 |
| 专利号 | CN200410058033.8 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明专利 |
| 英文摘要 | 本发明涉及半导体技术领域，特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器 件的新型欧姆接触Al/Ti/Al/Ti/Pt/Au的欧姆接触系统。新型结构的欧姆接触 Al/Ti/Al/Ti/Pt/Au，欧姆接触系统在680℃-760℃范围内，20-60S范围获 得理想的一致的欧姆接触。合金温度、合金时间有较大的的选择范围，降 低了工艺难度，提高了工艺的重复性。获得到比较理想的合金形貌，降低 了器件研制对设备的要求。这些技术方面的优势是现有其它欧姆接触技术 所不具备的。 |
| 公开日期 | 2006-02-15 |
| 申请日期 | 2004-08-09 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/7378]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘新宇,刘健,吴德馨,等. 适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/钛/铂/金的欧姆接触系统. CN200410058033.8. 2009-05-06. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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