一种太阳能电池刻边机反应室结构
文献类型：专利
| 作者 | 王佳; 刘训春; 周宗义; 李兵; 张永利; 张育胜 |
| 发表日期 | 2007-12-26 |
| 专利号 | CN101471395 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明一种太阳能电池刻边机反应室结构，它的腔壁与太阳电池片形 状相似，呈方形，四角处可呈切角状或弧形，并作为产生辉光放电的射频 供电的一个电极接地，腔室中间有一个金属电极接射频输出，该金属射频 电极上放置有一结构特殊的载片架。在载片架中重叠在一起的硅片的边沿 与腔壁之间的空间产生等离子体辉光，从而对载片架上的硅片边沿进行腐 蚀。该反应室结构可使太阳能电池片的边沿钻蚀明显地减小，因而可提高 太阳能电池片的转换效率和每批产品的一致性，同时它还有载片量大、刻 蚀均匀性好等优点。 |
| 公开日期 | 2009-07-01 ; 2010-11-26 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/7634]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王佳,刘训春,周宗义,等. 一种太阳能电池刻边机反应室结构. CN101471395. 2007-12-26. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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