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一种垂直沟道有机场效应晶体管及其制备方法

文献类型:专利

作者刘明; 商立伟; 刘兴华; 刘舸; 涂德钰
发表日期2011-04-20
专利号CN200810225453.9
著作权人中国科学院微电子研究所
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明公开了垂直沟道有机场效应晶体管,属于有机微电子学领域。该结构包括 绝缘衬底上的金属源电极、栅介质层、绝缘层、有机半导体层、栅电极和金属漏电极。 其中长条状的栅电极被介质层和有机半导体材料包围在器件的最中心。源电极和漏电 极均为平面电极。通过把沟道方向从水平转变为垂直,只需要控制薄膜的生长厚度就 能够有效控制器件的沟道长度,避免了昂贵的电子束光刻,为制备短沟有机场效应晶 体管提供了一个简便的低成本的方法。本发明还提供了一种垂直沟道有机场效应晶体 管结构的制备方法。

公开日期2009-04-08
申请日期2008-10-31
语种中文
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/7876]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘明,商立伟,刘兴华,等. 一种垂直沟道有机场效应晶体管及其制备方法. CN200810225453.9. 2011-04-20.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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