本发明涉及硅基有机发光微显示器件制造技术领域，具体涉及一种硅基有 机发光微显示器件表面银电极的制备方法。为了解决现有技术中有机发光微显 示器件表面电极不平整的问题，本发明提供一种硅基有机发光微显示器件表面 银电极的制备方法，在硅基片基底上依次完成内部驱动电路、绝缘层、像素表 面电极下的通孔，然后在整个表面形成一层绝缘层，光刻后进行刻蚀，将像素 区域的绝缘层去除，露出通孔，保留像素间的绝缘层作为隔离墙进行隔离，之 后在表面形成金属银层，进行CMP工艺，直到隔离墙露出，此时像素之间隔 离开。本发明有效的提高了银与绝缘层的黏附性，在CMP工艺时不易脱落； 表面银电极形成大马士革结构，采用CMP工艺提高表面平整度。