本发明涉及射频微机电系统技术领域，公开了一种双稳态单晶硅梁射 频微机电系统开关，该射频微机电系统开关包括电磁驱动部分和悬臂梁可 动部分，电磁驱动部分和悬臂梁可动部分采用对准键合方式结合在一起； 电磁驱动部分具有铁心铁壳和永磁体，通过在平面线圈加电流产生的磁场 与永磁体的磁场相叠加来改变整体磁场的方向，从而使悬臂梁可动部分动 作，实现触点通断。利用本发明，该射频微机电系统开关工作电压比较低， 驱动力大，工作次数高，功耗比较低，接触电阻小隔离度高，控制电路简 单，适用于较大功率射频通讯电路。