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一种非制冷红外焦平面阵列探测器及其制作方法

文献类型:专利

作者熊慎明; 陈大鹏; 叶甜春; 欧毅; 董立军; 刘辉; 胥兴才; 韩敬东; 李超波; 焦彬彬
发表日期2009-11-18
专利号CN200610112884.5
著作权人中国科学院微电子研究所
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明公开了一种非制冷红外焦平面阵列探测器,包括:由双层氮化 硅SiNx薄膜分别形成的支撑结构和微反射镜结构,支撑结构同时也作为红 外辐射吸收层,用于吸收红外辐射;微反射镜结构用于与支撑结构形成红 外吸收共振腔,吸收红外辐射,提高支撑结构对于红外辐射的吸收效率, 同时还作为光学读出的反射镜;所述支撑结构和微反射镜结构通过SiNx 材料连接。本发明同时公开了一种非制冷红外焦平面阵列探测器的制作方 法。利用本发明,由于支撑结构同时充当红外辐射吸收层,微反射镜结构 背面金属可以反射红外辐射,所以大大提高支撑膜对于红外辐射的吸收效 率和填充因子。另外,本发明还提高了系统探测极限灵敏度。

公开日期2008-03-12
申请日期2006-09-06
语种中文
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/8078]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
熊慎明,陈大鹏,叶甜春,等. 一种非制冷红外焦平面阵列探测器及其制作方法. CN200610112884.5. 2009-11-18.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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