一种非制冷红外焦平面阵列探测器及其制作方法
文献类型:专利
作者 | 熊慎明; 陈大鹏![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
发表日期 | 2009-11-18 |
专利号 | CN200610112884.5 |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明公开了一种非制冷红外焦平面阵列探测器,包括:由双层氮化 硅SiNx薄膜分别形成的支撑结构和微反射镜结构,支撑结构同时也作为红 外辐射吸收层,用于吸收红外辐射;微反射镜结构用于与支撑结构形成红 外吸收共振腔,吸收红外辐射,提高支撑结构对于红外辐射的吸收效率, 同时还作为光学读出的反射镜;所述支撑结构和微反射镜结构通过SiNx 材料连接。本发明同时公开了一种非制冷红外焦平面阵列探测器的制作方 法。利用本发明,由于支撑结构同时充当红外辐射吸收层,微反射镜结构 背面金属可以反射红外辐射,所以大大提高支撑膜对于红外辐射的吸收效 率和填充因子。另外,本发明还提高了系统探测极限灵敏度。 |
公开日期 | 2008-03-12 |
申请日期 | 2006-09-06 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8078] ![]() |
专题 | 微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年) |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊慎明,陈大鹏,叶甜春,等. 一种非制冷红外焦平面阵列探测器及其制作方法. CN200610112884.5. 2009-11-18. |
入库方式: OAI收割
来源:微电子研究所
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