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一种结合压印技术制备各向异性有机场效应管的方法

文献类型:专利

作者涂德钰; 刘明; 商立伟; 王丛舜
发表日期2009-09-23
专利号CN200610012052.6
著作权人中国科学院微电子研究所
国家中国
文献子类发明专利
英文摘要

本发明属于有机半导体学中的微细加工领域,特别涉及一种结合压 印技术制备各向异性有机场效应管的方法。其步骤如下:1.在导电基底 上制备绝缘介质层;2.在绝缘介质层薄膜表面上沉积生长第一层有机半 导体薄膜;3.利用模板压印有机薄膜,把设计的模板图形转移到第一层 有机薄膜上;4.沉积生长第二层同质有机物薄膜;5.通过镂空的掩模 版沉积源漏金属电极,完成各向异性有机场效应管的制备。

公开日期2007-12-05
申请日期2006-05-31
语种中文
源URL[http://10.10.10.126/handle/311049/8128]  
专题微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年)
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
涂德钰,刘明,商立伟,等. 一种结合压印技术制备各向异性有机场效应管的方法. CN200610012052.6. 2009-09-23.

入库方式: OAI收割

来源:微电子研究所

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