硅片抛光机头吸盘
文献类型：专利
| 作者 | 钱鹤; 欧文; 申作成; 夏洋; 张国海 |
| 发表日期 | 2001-03-29 |
| 专利号 | CN2470953 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 一种硅片抛光机头吸盘，有一机臂呈圆盘状，中心凸伸有一凸柱，一真空入口穿过机臂的中心；一真空腔体中心开有一圆孔，内部有一圆盘状的腔室与圆孔连通，真空腔体与圆孔相反的一面开有多数的微孔；一弹性膜为一圆片体，中心开有一通孔，弹性膜置于机臂与真空腔体之间；一橡胶层一圆片体，贴覆于真空腔体的一面，在其上开有多数的与真空腔体上开有的微孔对应的微孔；一圆环片固定在橡胶层的另一面。 |
| 公开日期 | 2002-01-09 ; 2010-11-26 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8186]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 钱鹤,欧文,申作成,等. 硅片抛光机头吸盘. CN2470953. 2001-03-29. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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