一种Ｘ射线图形掩模
文献类型：专利
| 作者 | 曹振亚; 张学; 刘训春; 陈梦真; 叶甜春 ; 钱鹤; 王润梅; 王玉玲; 孙宝银; 欧文
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| 发表日期 | 1994-09-14 |
| 专利号 | CN93244852.6 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 实用新型 |
| 英文摘要 | 本实用新型公开了一种用于半导体器件与集成电路工艺的Ｘ射线图形掩模，它在掩模线条的侧边设有能够透过Ｘ射线的属侧向支撑体，基片可为氮化硅片，金属图形可以是金属线条形成的图形。这样的结构能够提高掩模的合格率、可靠性以及使用寿命。 |
| 申请日期 | 1993-11-22 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8208]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹振亚,张学,刘训春,等. 一种Ｘ射线图形掩模. CN93244852.6. 1994-09-14. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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