采用锗或锑预无定形注入及清洗的钛硅化物方法
文献类型：专利
| 作者 | 钱鹤; 邢小平; 徐秋霞; 柴淑敏 |
| 发表日期 | 2000-12-19 |
| 专利号 | CN1360341 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 一种采用锗或锑预无定形注入及清洗硅化物的方法，包括如下步骤；步骤1：在源/漏结形成后、溅钛前，对整个硅片采用锗或锑的预无定形注入的方法来促进相转移；步骤2：溅钛前，对硅片进行清洗处理；步骤3：溅钛前进行真空腔内预退火处理；步骤4：进行薄钛－自对准硅化物工艺。 |
| 公开日期 | 2002-07-24 ; 2010-11-26 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8310]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 钱鹤,邢小平,徐秋霞,等. 采用锗或锑预无定形注入及清洗的钛硅化物方法. CN1360341. 2000-12-19. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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