Design, fabrication, and test of soft x-ray sinusoidal transmission grating
文献类型：外文期刊
| 作者 | Zhao, M; Zhu, XL; Chen, BQ; Xie, CQ; Liu, M; Niu, JB; Kuang, LY; Cao, LF |
| 发表日期 | 2008 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8632]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhao, M,Zhu, XL,Chen, BQ,et al. Design, fabrication, and test of soft x-ray sinusoidal transmission grating. 2008. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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