Grain structure and crystallographic orientation in Cu damascene lines
文献类型：外文期刊
| 作者 | Ji, Y; Zhong, TX; Li, ZG; Wang, XD; Luo, D; Xia, Y; Liu, ZM |
| 发表日期 | 2004 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/8664]  |
| 专题 | 微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Ji, Y,Zhong, TX,Li, ZG,et al. Grain structure and crystallographic orientation in Cu damascene lines. 2004. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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